一、開機要先檢查水路的暢通性,確定冷卻塔、真空泵是否正常工作,檢查氣路是否暢通,確定空壓機是否正常工作。

二、要確定真空室內的膜料、離子源燈絲、工件架是否按要求放置。

三、工藝完成后要關閉電子槍和離子源等開關,待真空鍍膜設備冷卻一消失后方可關閉電源。

四、未經允許不可開店電柜、真空室的屏蔽門。