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不同的PVD真空鍍膜機適用范圍及分類

時間:2020-09-19    點擊數(shù):

 很多人對真空鍍膜機名字聽說的很多,但是對真空鍍膜機更深入一點的知識卻不大清楚,對于他的分類更是一知半解,今天匯成小編為大家詳細介紹一下真空鍍膜機的分類,及使用范圍。

真空鍍膜機主要指一類需要在較高真空度下進行的鍍膜,包括真空離子蒸發(fā)鍍膜機、磁控濺鍍膜機射、MBE分子束外延鍍膜機和PLD激光濺射沉積鍍膜機等很多種。主要是分成蒸發(fā)和濺射兩種。在真空鍍膜設備中需要鍍膜的被成為基片,鍍的材料被成為靶材?;c靶材同在真空腔中。蒸發(fā)鍍膜一般是加熱靶材使表面組分以原子團或離子形式被蒸發(fā)出來,并且沉降在基片表面,通過成膜過程形成薄膜。真空鍍膜機對于濺射類鍍膜,可以簡單理解為利用電子或高能激光轟擊靶材,并使表面組分以原子團或離子形式被濺射出來,并且最終沉積在基片表面,經(jīng)歷成膜過程,最終形成薄膜。爐體可選擇由不銹鋼、碳鋼或它們的組合制成的雙
層水冷結(jié)構(gòu)。
       根據(jù)工藝要求選擇不同規(guī)格及類型鍍膜設備,其類型有電阻蒸發(fā)真空鍍膜設備、電子束蒸發(fā)真空鍍膜設備、磁控濺射真空鍍膜設備、離子鍍真空鍍膜設備、磁控反應濺射真空鍍膜設備、空心陰極離子鍍和多弧離子鍍等。夾具運轉(zhuǎn)形式有自轉(zhuǎn)、公轉(zhuǎn)及公轉(zhuǎn)+自轉(zhuǎn)方式,用戶可根據(jù)片尺寸及形狀提出相應要求,轉(zhuǎn)動的速度范圍及轉(zhuǎn)動精度:普通可調(diào)及變頻調(diào)速等。
       不同類型鍍膜機的適用范圍是怎樣的呢?磁控濺射鍍膜設備:應用于信息存儲領域,如磁信息存儲、磁光信息存儲等。磁控濺射鍍膜機:應用于防護涂層,如飛機發(fā)動機的葉片、汽車鋼板、散熱片等。磁控濺射鍍Al膜生產(chǎn)線:應用于太陽能利用領域,如太陽能集熱管、太陽能電池等。光學鍍膜設備:應用于光學薄膜領域,如增透膜、高反膜、截止濾光片、防偽膜等。
      AZO透明導電膜磁控濺射鍍膜生產(chǎn)線:應用于信息顯示領域,如液晶屏、等離子屏等。觸摸屏連續(xù)式鍍膜生產(chǎn)線:應用于觸摸屏領域,如手機、電腦、MP4等數(shù)碼產(chǎn)品屏幕等。磁控中頻多弧離子真空鍍膜機:應用于硬質(zhì)涂層,如切削工具、模具和耐磨耐腐蝕零件等。PECVD磁控生產(chǎn)線:應用于集成電路制造,如薄膜電阻器、薄膜電容器、薄膜溫度傳感器等。蒸發(fā)式真空鍍膜設備:應用于在裝飾飾品上,如手機殼、表殼、眼鏡架、五金、小飾品等鍍膜。低輻射玻璃鍍膜生產(chǎn)線:應用于建筑玻璃方面,如陽光控制膜、低輻射玻璃、防霧防露和自清潔玻璃等??狗瓷鋵щ娔みB續(xù)磁控濺射生產(chǎn)線:應用于電子產(chǎn)品領域,如液晶顯示器、液晶電視、MP4、車載顯示、手機顯示、數(shù)碼相機和掌聲電腦等。

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