在PVD真空鍍膜過程中，表面的清潔處理十分重要，直接影響產品的電鍍質量。進鍍膜室之前必須經過認真的鍍前清洗處理，表面污染來自工件的加工、輸送，在包裝過程中附著的各種灰塵、潤滑油、機油、拋光膏、油脂、汗漬等，為避免加工時引起的不良反應，在PVD真空鍍膜加工過程中，廠家一般可以通過去油或化學清洗的方法去除。

  對于已清洗過、不能存放于大氣環境的潔凈表面，應采用密封容器或保潔箱儲存，減少塵垢。在新氧化鋁容器中儲存玻璃底板，可以將對烴類蒸汽的吸附降到Z低。這樣的容器更傾向于吸附烴類。對于高不穩定性、對水汽敏感的真空鍍膜加工，一般應儲存在真空干燥箱中。

  采用PVD真空鍍膜處理,清除鍍膜室內的塵埃，設置潔凈度高的工作間，保持室內高度清潔，是鍍膜工藝對環境的基本要求。在空氣濕度大的地方，除鍍前要對基片、真空室各部件仔細清洗外，還要進行烘烤除氣。為了防止油進入真空室，應注意油擴散泵返油，對高熱能的擴散泵必須采取擋油措施。